| 1950年 | 5月 | 故大久保庄三の個人企業として受信管カソード、ヒーター、フィラメントの製造を目的として、東京カソード研究所を東京都板橋区に創立。 |
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| 1953年 | 4月 | 有限会社東京カソード研究所を東京都板橋区に設立。（資本金500千円） |
| 1955年 | 7月 | CRT用カソード、ヒーター、メタルバックコイルの製造開始。 |
| 1958年 | 2月 | 真空蒸着フィラメントの製造開始。 |
| 1959年 | 10月 | サーミスタの製造開始。 |
| 1963年 | 4月 | 電子機器用材料、部品及び機器の製造及び販売。電子機器用材料、部品及び機器製作技術の受託研究を主目的として株式会社東京カソード研究所を現在地に設立。 （資本金4,500千円） |
| 1965年 | 4月 | カラーCRT用カソード、ヒーター、メタルバックコイルの製作を開始。 |
| 1967年 | 5月 | 蛍光表示管用フィラメントの製作を開始。 |
| 1970年 | 11月 | 米国Rucker & Kolls社と技術提携し、同社特許製品プローブカード（商標登録済） の製作を開始。 |
| 1977年 | 3月 | 埼玉県比企郡滑川町に滑川事業所を設置。 |
| 1983年 | 4月 | 熊本県熊本市に九州営業所を設置。 |
| 1984年 | 3月 | 北海道空知郡上富良野に合弁で（株）北光電子工業を設立。 |
| 1984年 | 12月 | 液晶用基板検査装置フルオートプローバMODEL－7000の製作を開始。 |
| 1986年 | 6月 | 内田工業（株）の株式取得により子会社とし、カソード、電子銃の製作を開始。 |
| 1987年 | 4月 | ハイビジョン対応のための含浸型カソードの開発に着手。 |
| 1988年 | 2月 | 日商岩井（株）と販売契約を締結し、中国河北省のブラウン管工場にブラウン管製造設備を輸出、CRT用部品の販売を開始。 |
| 1989年 | 5月 | 熊本県阿蘇郡西原村に九州事業所を設置。（九州営業所を統合） |
| 1995年 | 4月 | シンガポールに合弁でMIKRO INTERNATIONAL TEST PTE LTDを設立。 |
| 1995年 | 10月 | 日本証券業協会に株式を店頭登録。（コード6868） （2004年12月ジャスダック証券取引所に株式上場） |
| 1995年 | 12月 | 中国に石家荘宝石電子集団公司と合弁で石家荘宝東電子有限公司を設立。 |
| 1996年 | 5月 | 台湾に東京探針股ｲ分有限公司を設立。 （2004年2月株式買取により100％子会社化） |
| 1996年 | 9月 | 香港の現地法人好得利電子有限公司に出資し、子会社化。 （2000年9月より東京科技（香港）有限公司に名称変更） |
| 1996年 | 9月 | MIKRO INTERNATIONAL TEST PTE LTDを100％子会社化。 （1997年1月よりTOKYO CATHODE LABORATORY (SINGAPORE) PTE LTD に名称変更） |
| 1997年 | 4月 | 米国ウェントワースラボラトリー社と合弁で株式会社ビーテックジャパンを設立し、 垂直型プローブカード「コブラプローブ」の製造を開始。 （2004年2月株式買取により100％子会社化） |
| 2001年 | 8月 | 液晶バックライト用モリブデン電極の開発に着手。 |
| 2001年 | 12月 | 韓国に韓国TCL株式会社を設立、子会社とする。 （2006年6月関連会社MICRO HIGH TECH CO. LTD.に合併清算） |
| 2002年 | 2月 | 子会社の東京科技（香港）有限公司100％出資により東針電子（広州）有限公司を設立。 |
| 2003年 | 2月 | 東針電子（広州）有限公司に出資し、子会社とする。 |
| 2008年 | 4月 | 装置事業をATE事業とOVIS事業に分離する。 |
| 2008年 | 11月 | 米国 FormFactor, Inc．社とプローブカード代理店契約を締結し、MEMS型プローブカードの販売を開始。 （2009年12月、業務提携に契約拡大） |
| 2009年 | 7月 | ATE事業を譲渡。 |
| 2010年 | 3月 | OVIS事業を廃止。 子会社の内田工業株式会社を解散。 |
