ドライエッチャー用消耗品
ドライエッチングの各種膜質に最適な上部電極素材（ALアルマイト、グラファイト、シリコン等）を高精度に加工し、提供しています。その他、周辺部品の開発、製造も行っています。
LCD用大型ALアルマイト製上部電極板、及び、下部電極板も提供しています。
特に、使用するガス等使用条件に応じて、アルマイトの膜質を改良し、最適な製品を製作します。
LCD用部品
| 大型ALアルマイト製上部電極板 | |
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半導体用部品
| プラズマエッチング用アルミ上部電極板 | |
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| シリコン電極 | |
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| シリコンリング | |
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| パイログラファイト電極 | |
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イオン注入機用消耗品
カソード開発で培ってきた高融点金属の加工技術を応用して、各種イオン注入装置のイオンソースヘッド部品、各種消耗部品を提供しています。最新の開発製品は特殊加工を施し、従来のソースヘッドと比較して20％以上ビームのとれるソースヘッドを提供しています。
| イオンソースヘッド | |
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