アレイ形状にDUT配置可能なイメージセンサー対応プローブカード。
従来の列形DUT配置のCantilever Typeと比較し、照射領域内に配置された複数列DUTの同時測定が可能な為、とても少ないTD回数でウェハー１枚に配されたDie試験を終了出来ます。
結果としてカードユーザーは試験スループットを向上させ、試験能力拡大に必要な追加設備投資の抑制が可能となります。

製品特徴

• スループット向上
• ウェハー当りの試験時間短縮
• 受光量均一化向上
• 電源ノイズ低下
• 廃塵量減少
• より少ないメンテナンス
• 製品長寿命化
• H-Freq.(LVDS)対応能力