ICが小型化し、製造プロセスの許容範囲が狭まるにつれて、監視・テスト用の生産パラメータの数は増加し、複雑さも増しています。製造ワークフローとプロセスの進化に伴い、パラメトリックテストでは、精度や信頼性だけでなく、電気テストの間の高速リカバリーやプローブの長寿命も要求されています。
チップメーカーはTakumiプローブカードを使用する事で、超低電流でプロセスの品質を測定でき、超小型のパッド寸法や超高温度などの状況にも対応出来ます。プローブヘッドは交換可能な為、様々なパッド配置に対応します。

製品特徴

• 短いセトリングタイム
• クリーンで長寿命なプローブコンタクト
• 広範な温度範囲での安定性
• 30um×30umパッド対応のアライメント精度

交換可能なプローブヘッド